Andor Marana-X sCMOS X-ray Camera
Andor Zyla HF sCMOS X-ray Camera

Andor Marana-X Zyla HF sCMOS X선 검출 카메라 sCMOS X-ray Camera

sCMOS-based X-ray cameras — Marana-X (up to 99% EUV QE, -45°C) and Zyla HF (5.5 MP, 100 fps) for high-speed X-ray imaging.

sCMOS 기반 X선 카메라 — Marana-X (EUV 99% QE, -45°C) / Zyla HF (5.5 MP, 100 fps) — 고속 X선 이미징.

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Description

Andor Marana-X와 Zyla HF는 sCMOS 센서 기반의 고속·고감도 X선 검출 카메라입니다. Marana-X는 EUV~연X선 직접 검출에서 최대 99% 양자 효율을 달성하는 후면조사형 sCMOS이며, Zyla HF는 광섬유 결합 방식으로 100 fps의 고속 X선·중성자 이미징을 지원합니다.

Key Features

  • Marana-X: up to 99% QE in EUV–soft X-ray region — back-illuminated sCMOS, vacuum cooled to -45°C
  • Marana-X: EUV~연X선 영역 최대 99% QE — 후면조사형 sCMOS, 진공 냉각 -45°C
  • Marana-X: 2048×2048 (11 μm) or 2048×2046 (6.5 μm) sensor — up to 135 fps; no mechanical shutter required
  • Marana-X: 2048×2048 (11 μm) 또는 2048×2046 (6.5 μm) — 최대 135 fps, 기계식 셔터 불필요
  • Marana-X: USB 3.0 and CoaXPress interface; extended dynamic range via image stacking
  • Marana-X: USB 3.0 및 CoaXPress 인터페이스, 이미지 스태킹으로 동적 범위 확장
  • Zyla HF: 5.5 MP (2560×2160, 6.5 μm) — fibre-optic coupled sCMOS, 100 fps (Camera Link) / 40 fps (USB 3.0)
  • Zyla HF: 5.5 MP (2560×2160, 6.5 μm) — 광섬유 결합 sCMOS, 100 fps (Camera Link) / 40 fps (USB 3.0)
  • Zyla HF: rolling and global shutter modes; dynamic range 33,000:1; YAG:Ce or LuAG:Ce scintillator options
  • Zyla HF: 롤링/글로벌 셔터 모드, 동적 범위 33,000:1, YAG:Ce 또는 LuAG:Ce 신틸레이터 옵션
  • Both models support scintillator-coupled X-ray and neutron detection
  • 두 모델 모두 신틸레이터 결합 X선·중성자 검출 지원

Applications

  • EUV lithography and EUV ptychography
  • EUV 리소그래피 및 EUV 프티코그래피
  • Soft X-ray tomography and X-ray microscopy
  • 연X선 단층촬영 및 X선 현미경
  • X-ray and neutron tomography (Zyla HF with scintillator)
  • X선·중성자 단층촬영 (Zyla HF + 신틸레이터)
  • X-ray plasma diagnostics and picosecond X-ray imaging
  • X선 플라즈마 진단 및 피코초 X선 이미징
  • High-speed X-ray diffraction and imaging
  • 고속 X선 회절 및 이미징

Specifications

Parameter Marana-X Zyla HF
Sensor Type Back-Illuminated sCMOS Front-Illuminated sCMOS + FOP
Active Pixels 2048×2048 (11 μm) or 2048×2046 (6.5 μm) 2560 × 2160 (5.5 MP, 6.5 μm)
Image Area 22.5×22.5 mm or 13.3×13.3 mm 16.6 × 14.0 mm
Peak QE Up to 99% (EUV–soft X-ray) Scintillator-dependent
Min. Temp. -45°C (vacuum cooled) 0°C
Max Frame Rate Up to 135 fps 100 fps (CL) / 40 fps (USB 3.0)
Dark Current @ min temp Very low (vacuum) 0.14 e⁻/pixel/sec
Dynamic Range Extended (stacking) 33,000:1 @ 30 fps
Shutter Mode No mechanical shutter Rolling + Global Shutter
PC Interface USB 3.0 / CoaXPress Camera Link (100 fps) / USB 3.0 (40 fps)
Scintillator Options — YAG:Ce, LuAG:Ce, CsI:Tl

📎 원본 제품 페이지: https://andor.oxinst.com/products/cameras-for-x-ray-euv-electron-and-neutron-detection

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