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Park Systems Accurion Sandwich Series 고하중 제진 플랫폼 Heavy Load Vibration Isolation Platform
Heavy-duty active vibration isolation floor platforms with 4-8 isolation elements — load capacity up to 1,200 kg for SEM and large equipment.
4~8개 제진 요소를 갖춘 고하중 능동 제진 플랫폼, SEM 등 1,200kg까지 지지.
Description
Sandwich platforms offer compact dimensions and excellent isolation performance. Each Sandwich consists of precision machined 15 mm thick top and bottom plates, surrounding 4 to 8 integrated vibration isolation elements as well as an external control unit. The quantity of vibration isolation elements defines the load capacity of the platform. A load range of up to 1,200 kg can be achieved.
The heavy load isolation systems are designed for installation on the floor mounting directly under the application. They are the ideal solution for the vibration isolation of scanning electron microscopes and similar equipment. Available products include isolation platforms and heavy duty vibration isolators.
Sandwich 플랫폼은 컴팩트한 치수와 뛰어난 제진 성능을 제공합니다. 각 Sandwich는 정밀 가공된 15mm 두께의 상하 플레이트로 4~8개의 통합 제진 요소와 외부 제어 유닛을 둘러싼 구조입니다. 제진 요소의 개수가 플랫폼의 하중 용량을 결정하며, 최대 1,200kg까지 지지 가능합니다.
고하중 제진 시스템은 응용 장비 바로 아래 바닥에 설치되도록 설계되어 있으며, 주사전자현미경(SEM) 및 유사 장비의 제진을 위한 이상적인 솔루션입니다. 제진 플랫폼과 헤비듀티 제진기 등의 제품을 제공합니다.
Heavy duty solutions > 600 kg (1,300 lbs)
The heavy load isolation systems are designed for installation on the floor mounting directly under the application. To select the required isolation system, the actual weight of the application equipment, load distribution and other factors are key. Customised versions with modified dimensions or increased load ranges are available on request.
고하중 제진 시스템은 응용 장비 바로 아래 바닥에 설치되도록 설계되어 있습니다. 요구되는 제진 시스템을 선택하려면 응용 장비의 실제 무게, 하중 분포 및 기타 요인이 중요합니다. 치수 변경이나 하중 범위 증가 등 맞춤 제작 가능합니다.
Key Features
- Active Vibration Isolation in six degrees of freedom — Comprehensive vibration cancellation in all motion directions.
- No natural low frequency resonance — Excellent vibration isolation characteristics in the low frequency range where passive systems fail.
- Settling time only 0.3 s — Rapid stabilization for fast measurement workflows.
- Active isolation starts at 1 Hz (passive isolation only effective above 200 Hz).
- No compressed air required — Power supply only, simplifying installation in any lab.
- Excellent position stability and stiffness — Reliable foundation for high-precision instruments like SEM.
- Load capacity up to 1,200 kg — Configurable with 4 to 8 isolation elements based on requirements.
- Precision-machined 15 mm thick plates — Top and bottom plates ensure rigidity and flatness.
- 6자유도 능동 제진 — 모든 운동 방향의 진동을 종합적으로 보정합니다.
- 저주파 공진 없음 — 수동 시스템이 효과를 발휘하지 못하는 저주파 영역에서도 뛰어난 제진 특성을 보입니다.
- 응답 시간 0.3초 — 빠른 측정 워크플로를 위한 신속한 안정화.
- 1Hz부터 능동 제진 시작 (수동 제진은 200Hz 이상에서만 효과적).
- 압축 공기 불필요 — 전원만 필요하여 어떤 실험실이든 간편하게 설치 가능.
- 뛰어난 위치 안정성과 강성 — SEM 등 고정밀 장비를 위한 신뢰성 있는 기반.
- 최대 1,200kg 하중 지지 — 요구사항에 따라 4~8개 제진 요소로 구성 가능.
- 15mm 정밀 가공 플레이트 — 상하 플레이트가 강성과 평탄도를 보장합니다.
Transmission curves for heavy load vibration isolation systems
고하중 제진 시스템의 전달 곡선
Applications
- Scanning Electron Microscopy (SEM)
- Transmission Electron Microscopy (TEM)
- Heavy Scanning Probe Microscopy (SPM) instruments
- Focused Ion Beam (FIB) systems
- Heavy-duty measurement equipment
- Semiconductor inspection tools
- Precision manufacturing platforms
- 주사전자현미경 (SEM)
- 투과전자현미경 (TEM)
- 대형 주사 탐침 현미경 (SPM) 장비
- 집속이온빔(FIB) 시스템
- 대형 측정 장비
- 반도체 검사 장비
- 정밀 제조 플랫폼
Specifications
Sandwich Series는 4~8개의 제진 요소 구성과 다양한 크기 옵션이 제공됩니다. 자세한 사양은 견적 요청 시 안내드립니다.
| Parameter | Specification |
|---|---|
| Isolation Performance | |
| Force directions | Active compensation in all six degrees of freedom |
| Active isolation start | 1 Hz |
| Passive isolation start (comparison) | > 200 Hz |
| Settling time | 0.3 s |
| Natural low-frequency resonance | None |
| Construction | |
| Plate thickness | 15 mm (precision machined, top and bottom) |
| Isolation elements per platform | 4 to 8 (configurable) |
| Control unit | External |
| Installation | Floor mounting directly under application |
| Load Capacity | |
| Maximum load capacity | Up to 1,200 kg |
| Heavy duty threshold | > 600 kg (1,300 lbs) |
| Available Sizes (Standard) | |
| SW800 series | 4-element controller version |
| SW1000 series | 4 / 6 / 8 element controller versions |
| SW1100x900 series | 4 / 6 / 8 element controller versions |
| Custom dimensions | Available on request |
| Power | |
| Power supply | Standard AC mains (no compressed air required) |
