Park Systems Accurion Duo Series 고하중 모듈형 제진 요소 Heavy Load Vibration Isolation Elements
Modular heavy-duty active vibration isolation elements — scalable from 2 to 4+ elements, load capacity up to 2,500 kg for the most demanding equipment.
모듈형 고하중 능동 제진 요소, 2~4개 이상 확장 가능, 최대 2,500kg까지 지지.
Description
The Duo isolation elements have been engineered as a modular system to meet the requirements of the most diverse applications. They can be used in combination with optical breadboards for example or directly below a heavy-duty measurement equipment. The basic configuration of the Duo consists of two isolation elements. Combinations of 3, 4 or more elements are possible. A load range of up to 2,500 kg can be realized.
The heavy load isolation systems are designed for installation on the floor directly underneath the application. They are the ideal solution for the vibration isolation of scanning electron microscopes and similar equipment.
Duo 제진 요소는 가장 다양한 응용 요구사항을 충족하도록 모듈형 시스템으로 설계되었습니다. 예를 들어 광학 브레드보드와 결합하거나 헤비듀티 측정 장비 바로 아래에 직접 사용할 수 있습니다. Duo의 기본 구성은 2개의 제진 요소이며, 3개, 4개 또는 그 이상의 조합이 가능합니다. 최대 2,500kg까지의 하중 범위를 구현할 수 있습니다.
고하중 제진 시스템은 응용 장비 바로 아래 바닥에 설치되도록 설계되어 있으며, 주사전자현미경(SEM) 및 유사 장비의 제진을 위한 이상적인 솔루션입니다.
Solutions for heavy load equipment > 600 kg (1,300 lbs)
To select the required isolation system, the actual weight of the application equipment, load distribution and further parameters are key. Customized versions with modified dimensions or increased load ranges are available on request.
요구되는 제진 시스템을 선택하려면 응용 장비의 실제 무게, 하중 분포 및 기타 매개변수가 중요합니다. 치수 변경이나 하중 범위 증가 등 맞춤 제작 가능합니다.
Key Features
- Modular system design — Basic configuration of 2 isolation elements, expandable to 3, 4, or more elements based on load requirements.
- Active Vibration Isolation in six degrees of freedom — Comprehensive vibration cancellation in all motion directions.
- No natural low-frequency resonance — Excellent vibration isolation in the low-frequency range where passive systems fail.
- Settling time only 0.3 s — Rapid stabilization for fast measurement workflows.
- Active isolation starts at 1 Hz (passive isolation only above 200 Hz).
- No compressed air required — Power supply only.
- Excellent position stability and stiffness — Reliable foundation for heavy-duty measurement equipment.
- Load capacity up to 2,500 kg — Highest load capacity in the Accurion lineup, ideal for the most demanding applications.
- Versatile integration — Compatible with optical breadboards or direct installation under measurement equipment.
- 모듈형 시스템 설계 — 2개 제진 요소 기본 구성, 하중 요구사항에 따라 3개, 4개 이상으로 확장 가능합니다.
- 6자유도 능동 제진 — 모든 운동 방향의 진동을 종합적으로 보정합니다.
- 저주파 공진 없음 — 수동 시스템이 효과를 발휘하지 못하는 저주파 영역에서도 뛰어난 제진 특성을 보입니다.
- 응답 시간 0.3초 — 빠른 측정 워크플로를 위한 신속한 안정화.
- 1Hz부터 능동 제진 시작 (수동 제진은 200Hz 이상에서만 효과적).
- 압축 공기 불필요 — 전원만 필요.
- 뛰어난 위치 안정성과 강성 — 헤비듀티 측정 장비를 위한 신뢰성 있는 기반.
- 최대 2,500kg 하중 지지 — Accurion 라인업 중 최고 하중 용량, 가장 까다로운 응용에 적합.
- 다양한 통합 옵션 — 광학 브레드보드와 결합하거나 측정 장비 바로 아래 직접 설치 가능.

Transmission curves for heavy load vibration isolation systems
고하중 제진 시스템의 전달 곡선
Applications
- Scanning Electron Microscopy (SEM) — heavy-duty installations
- Transmission Electron Microscopy (TEM)
- Cryogenic refrigeration systems (e.g., microKelvin facilities)
- Large optical breadboard isolation
- Heavy semiconductor inspection equipment
- Custom heavy-duty measurement platforms
- Multi-instrument integrated platforms
- 주사전자현미경 (SEM) — 헤비듀티 설치
- 투과전자현미경 (TEM)
- 극저온 냉동 시스템 (예: 마이크로켈빈 시설)
- 대형 광학 브레드보드 제진
- 대형 반도체 검사 장비
- 맞춤형 헤비듀티 측정 플랫폼
- 다중 장비 통합 플랫폼
Specifications
Duo Series는 모듈형 구성으로 2~4+ 요소로 확장 가능합니다. 표준 모델은 Duo73, Duo100 등이 있으며, 맞춤 제작도 가능합니다. 자세한 사양은 견적 요청 시 안내드립니다.
| Parameter | Specification |
|---|---|
| Isolation Performance | |
| Force directions | Active compensation in all six degrees of freedom |
| Active isolation start | 1 Hz |
| Passive isolation start (comparison) | > 200 Hz |
| Settling time | 0.3 s |
| Natural low-frequency resonance | None |
| Modular Configuration | |
| Basic configuration | 2 isolation elements |
| Expandable configurations | 3, 4, or more elements |
| Maximum load capacity | Up to 2,500 kg |
| Heavy duty threshold | > 600 kg (1,300 lbs) |
| Available Standard Models | |
| Duo73 standard | 73 mm height isolation element |
| Duo100 standard | 100 mm height isolation element |
| Custom variants | Available on request |
| Installation & Power | |
| Installation | Floor mounting directly under application or with optical breadboard |
| Power supply | Standard AC mains (no compressed air required) |





