Park_FX200_(200 mm Sample AFM)

Description

Park FX200 is an innovative Atomic Force Microscope (AFM) designed for measurements of samples up to 200 mm, offering the highest precision and reliability through a low noise floor, minimized thermal drift, and enhanced mechanical stability. Like all Park AFM instruments, the FX200 incorporates an orthogonal scan system and True Non-contact™ mode, enabling accurate high-resolution measurements even on fragile samples. Key features of the FX200 include automated probe exchange, laser beam auto-alignment, and a sample view camera capable of displaying the entire 200 mm sample. Additional capabilities such as automatic scan parameter optimization, optical autofocus, sequential multi-position measurement, and powerful data analysis tools enable complex tasks to be performed with ease. With advanced features and a user-friendly interface, the FX200 is the optimal solution for nanoscale imaging and analysis across research and industrial environments.

Park FX200은 최대 200 mm 샘플을 측정할 수 있도록 설계된 파크시스템스의 혁신적인 원자력 현미경(AFM)입니다. 낮은 잡음 수준(noise floor), 최소화된 열 드리프트, 기계적 안정성 향상을 통해 최고의 정밀도와 신뢰성을 제공합니다. 모든 Park AFM 제품과 마찬가지로 FX200은 직교 스캔 시스템과 True Non-contact™ 모드를 탑재하고 있어, 손상되기 쉬운 샘플에서도 정확한 고해상도 측정이 가능합니다. FX200의 주요 기능으로는 자동 프로브 교환, 레이저 빔 자동 정렬, 200 mm 샘플 전체를 확인할 수 있는 샘플 뷰 카메라 등이 있습니다. 자동 스캔 파라미터 최적화, 광학 오토포커스, 다중 위치에서의 순차 측정, 강력한 데이터 분석 도구 등의 추가 기능을 통해 복잡한 작업도 간편하게 수행할 수 있습니다. 첨단 기능과 사용자 친화적 인터페이스를 갖춘 FX200은 연구 및 산업 환경 전반에 걸쳐 나노스케일 이미징 및 분석에 최적화된 솔루션입니다.

• Low noise floor with minimized thermal drift and enhanced mechanical stability
• Orthogonal scan system with True Non-contact™ mode for precise nanoscale imaging
• Dual-servo XY scanner architecture for accurate full-area positioning on 200 mm samples
• Automated probe exchange with kinematic mounting and QR-coded chip carriers (up to 16 probes)
• Vision-based automatic laser beam alignment with PSPD auto-centering
• Sample view camera with full 200 mm wafer overview and one-click XY stage navigation
• Improved coaxial optical system for unobstructed field of view down to 0.87 μm line width
• Ultra-low Z-axis detector noise below 0.02 nm (rms), enabling sub-nanometer height measurement
• Powerful FX AFM controller with 8-channel lock-in amplifier and 5 MHz bandwidth tip bias modulation
• Upgraded active vibration isolation system with dual-layer base frame for dramatically reduced noise floor
• Live monitoring camera for real-time interior observation with enclosure door closed
• Park SmartScan™ with automated scan parameter optimization for ease of use
• Park SmartAnalysis™ for comprehensive AFM data analysis and workflow optimization

• 최소화된 열 드리프트 및 향상된 기계적 안정성을 갖춘 낮은 잡음 수준
• 정밀한 나노스케일 이미징을 위한 직교 스캔 시스템 및 True Non-contact™ 모드
• 200 mm 샘플 전체 영역에서 정확한 위치 지정을 위한 듀얼 서보 XY 스캐너 구조
• 키네마틱 마운팅과 QR 코드 칩 캐리어를 적용한 자동 프로브 교환 (최대 16개)
• PSPD 자동 중심 맞춤 기능이 결합된 비전 기반 레이저 빔 자동 정렬
• 200 mm 웨이퍼 전체 개요 확인 및 원클릭 XY 스테이지 이동이 가능한 샘플 뷰 카메라
• 0.87 μm 라인 폭까지 확인 가능한 개선된 동축 광학 시스템
• 0.02 nm (rms) 미만의 극저 Z축 검출기 잡음으로 서브나노미터 높이 측정 가능
• 8채널 록인 증폭기 및 5 MHz 대역폭 팁 바이어스 변조 기능을 갖춘 강력한 FX AFM 컨트롤러
• 잡음 수준을 획기적으로 감소시키는 이중 레이어 베이스 프레임의 업그레이드된 능동진동제어 시스템
• 외부 소음 차단 장치 도어가 닫힌 상태에서도 실시간 내부 확인이 가능한 라이브 모니터링 카메라
• 사용 편의성을 위한 자동 스캔 파라미터 최적화 기능이 탑재된 Park SmartScan™
• 포괄적인 AFM 데이터 분석 및 워크플로 최적화를 위한 Park SmartAnalysis™

Applications

• High-resolution topographic imaging of samples from small coupons up to 200 mm wafers
• Semiconductor device characterization — patterned Si devices, Cu pad surface roughness analysis
• 2D material characterization — twisted bilayer graphene (tBG) on hBN, moiré superlattice imaging
• Conductive AFM (C-AFM) measurements of heterostructures (e.g. MoSe₂ on WSe₂)
• Polymer and soft material nanoscale imaging (e.g. hyper-branched polymers, polystyrene beads on mica)
• Nanoimprint mold and high-aspect-ratio structure measurement
• Photoresist surface topography measurement before exposure
• Self-assembled block copolymer characterization
• Sequential multi-position automated measurement using StepScan™
• 소형 쿠폰 샘플부터 최대 200 mm 웨이퍼까지 고분해능 형상 이미징
• 반도체 소자 특성 분석 — 패턴화된 실리콘(Si) 소자, 구리(Cu) 패드 표면 거칠기 분석
• 2차원(2D) 소재 특성 분석 — hBN 위 트위스트 이중 레이어 그래핀(tBG), 모아레 초격자 이미징
• 이종 구조 전도성 AFM(C-AFM) 측정 (예: WSe₂ 위 MoSe₂)
• 고분자 및 연성 소재 나노스케일 이미징 (예: 과분지 고분자, 운모 위 폴리스티렌 비드)
• 나노임프린트 몰드 및 고종횡비 구조물 측정
• 노광 전 포토레지스트 표면 형상 측정
• 자기조립 블록 공중합체 특성 분석
• StepScan™을 활용한 다중 위치 순차 자동 측정

Specifications

Park_FX200_(200 mm Sample AFM)

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