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ScienceEdge InFocus κ FDTR 열반사 현미경 Thermoreflectance Microscope
Frequency-domain thermoreflectance (FDTR) microscope for thin-film thermal conductivity
박막·미소구조 열전도율 측정 열반사 현미경
Description
InFocus κ FDTR is a laser-scanning frequency-domain thermoreflectance (FDTR) microscope that measures thermal conductivity and other thermophysical properties of thin films and microstructures by detecting the temperature-dependent change in surface reflectance. A near-diffraction-limit laser spot and a 3D cylindrical thermal-diffusion model enable quantitative evaluation of anisotropic (through-plane and in-plane) thermal conductivity, even on single micro-particles such as heat-dissipation fillers.
InFocus κ FDTR는 표면 반사율의 온도 의존 변화를 이용하는 주파수영역 열반사(FDTR) 레이저 스캐닝 현미경으로, 박막과 미세구조의 열전도율 등 열물성을 정량 측정합니다. 회절한계급 레이저 스폿과 원통좌표 3차원 열확산 모델을 통해 이방성(면수직·면내) 열전도율을 동시에 평가할 수 있으며, 방열 필러 같은 단일 미소입자의 열물성도 측정 가능합니다.
Key Features
- Near-diffraction-limit laser spot (~2 μm pump / ~1 μm probe @20x); submicron with 50x/100x lenses
- 회절한계급 레이저 스폿(20x 기준 펌프 ~2 μm / 프로브 ~1 μm), 50x·100x 렌즈로 서브미크론
- Simultaneous through-plane and in-plane (anisotropic) thermal conductivity measurement
- 면수직·면내 이방성 열전도율 동시 측정
- Galvanometer-mirror laser scanning; probe position moved by clicking the microscope image
- 갈바노미터 미러 레이저 스캐닝, 현미경 이미지 클릭으로 프로브 위치 이동
- Frequency modulation up to 50 MHz with lock-in phase detection
- 최대 50 MHz 주파수 변조 및 락인 위상 검출
- Optional high-resolution Raman spectroscopy for multi-modal analysis on one instrument
- 옵션 고분해능 라만 분광으로 단일 장비 다중 분석
Applications
- Thermal conductivity of thin films and coatings
- 박막·코팅의 열전도율 평가
- Thermophysical evaluation of single heat-dissipation filler particles
- 단일 방열 필러 입자의 열물성 평가
- Semiconductor and nanotechnology thermal management
- 반도체·나노기술 열관리
- Anisotropic material characterization
- 이방성 소재 특성 분석
Specifications
| Parameter | InFocus κ FDTR |
|---|---|
| Pump laser | 445 nm / spot ~2 μm (@20x, NA=0.45) |
| Probe laser | 514 nm / spot ~1 μm (@20x, NA=0.45) |
| Transducer | Au |
| Frequency modulation range | 10 kHz – 50 MHz |
| Dimensions | W505 × D560 × H480 mm |
| Weight | 70 kg |
| Options | High-resolution Raman spectroscopy, Cooling & heating stage |
| Functions | FDTR mapping, Anisotropic thermal conductivity analysis, Beam-offset FDTR |
