Park Systems Accurion Vario 능동 제진 시스템 Active Vibration Isolation
Modular active vibration isolation system with isolation elements and external control, loads up to 900 kg.
모듈형 능동 제진 시스템, 최대 900kg 하중, 고정밀 실험실용.
Description
The Park Accurion Vario systems are element-based modular vibration isolation systems consisting of at least two isolation elements and an external control unit. The primary model, the Vario Basic, has been designed for the isolation of high static loads. While the two-element configuration can carry loads of up to 300 kg, the maximum load capacity can be increased by adding more isolation elements — a six-element setup can handle loads up to 900 kg. The steel support frame serves as a mechanical link between the isolation elements and can be used for a variety of laboratory setups, such as interferometers or other laser systems. The compact dimensions and flexibility of the Vario series make it ideal for installations in customer-specific applications. A typical example is the combination with an optical breadboard. For applications with frequent load changes or without direct access to the isolation elements, an automatic load adjustment option is available. There are virtually no limits to the applications offered by Vario systems.
Park Accurion Vario 시스템은 최소 2개의 제진 요소와 외장 컨트롤 유닛으로 구성된 요소 기반 모듈형 제진 시스템입니다. 주력 모델인 Vario Basic은 높은 정적 하중의 제진을 위해 설계되었습니다. 2요소 구성으로 최대 300 kg의 하중을 지지할 수 있으며, 제진 요소를 추가하여 최대 하중 용량을 늘릴 수 있습니다. 6요소 구성은 최대 900 kg의 하중을 처리할 수 있습니다. 스틸 지지 프레임은 제진 요소 간의 기계적 연결 역할을 하며, 간섭계나 레이저 시스템 등 다양한 실험실 구성에 활용할 수 있습니다. Vario 시리즈의 컴팩트한 외형과 유연성은 고객별 맞춤 응용 분야 설치에 이상적입니다. 광학 브레드보드와의 조합이 대표적인 활용 사례입니다. 하중 변화가 잦거나 제진 요소에 직접 접근하기 어려운 응용 분야를 위한 자동 하중 조정 옵션도 제공됩니다. Vario 시스템이 지원하는 응용 분야는 사실상 무한합니다.
- Active vibration isolation in all six degrees of freedom
- Active vibration isolation starts at 1.0 Hz (passive isolation above 200 Hz)
- Settling time only 0.3 s
- No compressed air supply needed — AC power from standard electrical outlet is sufficient
- No natural low frequency resonance — excellent vibration characteristics below 5 Hz
- Modular element-based design — scalable from 2 to 6+ elements for loads up to 900 kg
- Convenient manual load adjustment — automatic load adjustment available as option
- Excellent position stability and stiffness
- Isolation performance: >25 dB (94.4%) at 5 Hz, >35 dB (98.2%) at 10 Hz
- Response time 0.5 ms, active bandwidth 1–200 Hz
- External control unit with sensor and actuator LEDs
- BNC analog diagnostic output interface
- Wide range of standard sizes and customizations available
- Compatible with steel support frames, acoustic enclosures, and optical breadboards
- 6자유도 전방향 능동 제진
- 1.0 Hz부터 능동 제진 시작 (200 Hz 이상은 수동 제진)
- 정착 시간 단 0.3 s
- 압축 공기 공급 불필요 — 일반 콘센트의 교류 전원만으로 작동
- 고유 저주파 공진 없음 — 5 Hz 이하 주파수 대역에서도 우수한 진동 특성
- 모듈형 요소 기반 설계 — 2개에서 6개 이상의 요소로 확장하여 최대 900 kg 하중 지원
- 편리한 수동 하중 조정 — 자동 하중 조정 옵션 제공
- 탁월한 위치 안정성 및 강성
- 제진 성능: 5 Hz에서 >25 dB (94.4%), 10 Hz에서 >35 dB (98.2%)
- 응답 시간 0.5 ms, 능동 대역폭 1–200 Hz
- 센서 및 액추에이터 LED가 있는 외장 컨트롤 유닛
- BNC 아날로그 진단 출력 인터페이스
- 다양한 표준 크기 및 커스터마이징 옵션 제공
- 스틸 지지 프레임, 방음 인클로저, 광학 브레드보드 호환
Applications
- High static load vibration isolation for large laboratory instruments
- Optical tables, interferometers, and laser setups
- Imaging ellipsometry systems
- Electron microscopy and other high-precision instruments
- Customer-specific installations with optical breadboards
- Any application requiring scalable, modular vibration isolation up to 900 kg
- 대형 실험실 장비의 고정적 하중 제진
- 광학 테이블, 간섭계, 레이저 시스템
- 이미징 타원편광계 시스템
- 전자 현미경 및 기타 고정밀 장비
- 광학 브레드보드를 포함한 고객 맞춤형 설치
- 최대 900 kg까지 확장 가능한 모듈형 제진이 필요한 모든 응용 분야
Specifications
| Parameter | Vario Basic 40 | Vario Basic 60 | Vario Basic 90 |
|---|---|---|---|
| Dimensions of isolation element (L×W×H) | 396×120×110 mm 15.6×4.7×4.3 inch |
636×130×110 mm 25×5.1×4.3 inch |
932×130×110 mm 36.7×5.1×4.3 inch |
| Load capacity (2-element config) | 0–300 kg / 0–660 lbs | Same as Vario Basic 40 | |
| Load capacity (4-element config) | 0–600 kg / 0–1,320 lbs | Same as Vario Basic 40 | |
| Weight per isolation element | 6.8 kg / 15 lbs | 8.6 kg / 19 lbs | 10.4 kg / 23 lbs |
| Weight of control unit | 4.5 kg / 10 lbs | Same as Vario Basic 40 | |
| Isolation technology | Accurion control technology based on piezoelectric type acceleration pickup, fast signal processing and electro-dynamic force transducers | Same as Vario Basic 40 | |
| Control electronics | External control unit with sensor and actuator LEDs | Same as Vario Basic 40 | |
| Force directions | Active compensation in all six degrees of freedom | Same as Vario Basic 40 | |
| Isolation performance | > 5 Hz = 25 dB (94.4%) > 10 Hz = 35 dB (98.2%) |
Same as Vario Basic 40 | |
| Active bandwidth | 1–200 Hz (passive isolation beyond 200 Hz) | Same as Vario Basic 40 | |
| Settling time | 300 ms | Same as Vario Basic 40 | |
| Response time | 0.5 ms | Same as Vario Basic 40 | |
| Stroke of the actuator | 1 mm | Same as Vario Basic 40 | |
| Max. correction forces (2-element) | Vertical ±8 N / Horizontal ±4 N | Same as Vario Basic 40 | |
| Max. correction forces (4-element) | Vertical ±16 N / Horizontal ±8 N | Same as Vario Basic 40 | |
| Max. compensation level | 550 μm/sec at 8 Hz and 150 kg / 330 lbs | Same as Vario Basic 40 | |
| Interface | BNC analog diagnostic output – 50 Ω | Same as Vario Basic 40 | |
| Electrical voltage | 100–250 V / 47–63 Hz | Same as Vario Basic 40 | |
| Power consumption | Typically 10–20 W; max. 50 W | Same as Vario Basic 40 | |
| Operating temperature | 15–40 °C / 59–104 °F | Same as Vario Basic 40 | |
| Relative humidity | 0–60% | Same as Vario Basic 40 | |
| Operating altitude | < 2,500 m / 8,100 ft | Same as Vario Basic 40 | |
| Certification | CE certified (2006/95/EC, 2004/108/EC) | Same as Vario Basic 40 | |






